В СПбПУ создан безмасочный нанолитограф
Сотрудниками СПбПУ созданы две установки, позволяющие «решить вопрос технологического суверенитета РФ в этом направлении в сфере микроэлектроники». Это установки безмасочной нанолитографии и плазмохимического травления кремния.
Первая предоставляет возможность получать изображение на подложке без применения маски: такой вариант проще и дешевле обычного литографа, в котором есть шаблон. Эксперты разработали ПО для управления литографом и полностью автоматизировали процесс его работы.
Вторая же установка позволяет создавать кремниевые мембраны. По мнению авторов работы, отечественные мембраны по надежности и чувствительности превосходят те, что делают способами жидкостного или лазерного травления.
«Использование безмасочной нанолитографии в совокупности с плазмохимическим травлением возможно для решения широкого спектра задач. К примеру, в радиолокационном оборудовании возможно повышение срока службы приборов более чем в 20 раз. А использование технологии приуменьшить их вес и габариты, дает возможность работы в пасмурную погоду при сохранении КПД», – уточники ученые, добавив, что планируют улучшить обе установки.