В России разработана установка для изучения сверхтонких материалов

Ученые СПбГЭТУ «ЛЭТИ» создали компактную установку с «жидкими» зондами для исследования новых типов материалов для электроники. Разработка позволит снизить стоимость и упростить процесс изучения сверхтонких материалов для микроэлектроники на предприятиях и в научных лабораториях. Результаты исследования опубликованы в журнале Technologies, сообщает пресс-служба СПбГЭТУ «ЛЭТИ».Сегодня классическая кремниевая электроника подходит к пределу своих возможностей, в частности, по таким параметрам, как компактность, надежность и энергоэффективность. С одной стороны, ее несомненным плюсом выступает дешевизна компонентной базы, обусловленная отлаженными за десятилетия технологиями производства элементов на основе кремния. А с другой, для целого ряда высокотехнологичных отраслей экономики (космос, лазеры, газоанализаторы и так далее) требуются новые материалы, доступные методы их синтеза, изучения и применения.«Мы разработали прототип зондовой установки, позволяющей изучать характеристики тонких материалов (пленок), которые могут найти применение в качестве компонентной базы для электроники нового типа. Предложенные нами решения, такие как использование “жидких” зондов, позволяет исследовать тонкие пленочные образцы материалов, не разрушая их по сравнению с прижимными контактами», — рассказал доцент кафедры микро- и наноэлектроники (МНЭ) СПбГЭТУ «ЛЭТИ» Никита Пермяков.Установка, разработанная учеными ЛЭТИ, может изучать вольт-амперные характеристики полупроводниковых материалов. Образцы располагаются на специальном столике, к которому подводятся зонды, сформированные перед измерением. В отличие от сканирующих зондовых микроскопов (аналогов предложенной системы, в которых реализуются возможность регулировки силы прижатия), они выполнены не из твердого, а из жидкого металла (сплав индия с галлием). Такой зонд представляет собой шприц с металлической иглой (диаметр отверстия 400 микрон), сходный с теми, что используются в инсулиновых помпах.В начале измерений из шприца выдавливается микроскопическая капля сплава индия с галлием, которой придается конусообразная форма. Жидкое агрегатное состояние позволяет контролировать размер контактной области зонда и исследуемой пленки, чтобы ее не повредить (при этом давление на образец будет определяться поверхностным натяжением капли).Сейчас действующий прототип располагает всего одним зондом. С его помощью исследователям ЛЭТИ удалось успешно провести измерения характеристик тонких пленок оксида цинка (ZnO) — полупроводника, который считается перспективным материалом для электродов, компонентов для топливных элементов, а также лазерной техники. В перспективе для обеспечения наилучшей информативности при изучении образцов установка будет комплектоваться четырьмя зондами. Их точное перемещение в трехмерном пространстве производится с помощью станка с числовым программным управлением (ЧПУ). «Принцип действия нашей установки позволяет обеспечить точность измерений характеристик различных материалов на уровне значительно более дорогостоящего и сложного оборудования, например сканирующего зондового микроскопа, который может позволить себе далеко не любая научная группа или предприятие», — отметил Никита Пермяков.