Ещё

Как рождается электроника будущего. Репортаж с завода «Микрон» 

Фото: Р-Спорт
МОСКВА, 17 апр — РИА Новости, Татьяна Пичугина. Ежедневно москвичи выбрасывают миллионы использованных бумажных билетов для проезда в общественном транспорте. В каждом зашит чип, на создание которого уходит несколько месяцев. Производят эти микросхемы на заводе «Микрон» в подмосковном Зеленограде. Корреспондент РИА Новости побывала в центре микроэлектронной промышленности и посмотрела, как делают умные метки для массового использования.
Чип вместо кассира
Множество рутинных операций, которые раньше нас так раздражали, теперь взяли на себя микроэлектронные устройства. Простой пример — билет в метро. Пассажир покупает бумажную или пластиковую карточку и прикладывает ее к видеоглазу на турникете. Встроенный сканер посылает на нее радиосигнал, и, если чип в карте отвечает, створки открываются. Вся процедура занимает несколько секунд.
Сканер опознает чип по зашитому в нем идентификационному номеру, отправляет данные на сервер, где они сверяются. Если билет одноразовый, пройти по нему повторно не удастся — он уже помечен в базе как использованный. Эту технологию называют RFID — радиочастотная идентификация.
Аналогичным образом работают билеты на всех видах общественного транспорта в Москве, Подмосковье и других регионах России, банковские карты «Мир», пропуска.
Чипы для этих изделий производят на заводе «Микрон» по технологии 180 нанометров. Так обозначается минимальный размер элемента в схеме.
Стерильная чистота
Создание чипа начинается в чистой комнате — помещении, свободном от пыли. Там работают в антистатических комбинезонах и бахилах, масках и двойных перчатках, всю косметику необходимо смывать.
В фальшпол пол встроена система вентиляции, постоянно перегоняющая воздух снизу вверх. На потолке установлены фильтры, благодаря которым на один кубофут воздуха приходится не более тысячи частиц пыли размером полмикрона. В помещении ведут круглосуточный контроль влаги и температуры, дважды в смену проходит ручной мониторинг микроклимата.
Мельчайшая пылинка способна испортить чип, который должен быть идеально гладким и без нежелательных примесей. Отсюда высокие требования к чистоте.
Монокристаллы кремния в виде тонких пластин диаметром двести миллиметров поступают на завод. В чистой комнате их помещают в smif-контейнеры, откуда не вынимают до завершения всех процессов.
Чип по технологии 180 нанометров выращивают три-четыре месяца. В процессе задействованы несколько десятков операций: фотолитография, плазмохимическое травление, химико-механическая полировка, ионное легирование, осаждение, напыление, отжиг, диффузия. Используется около трех десятков наименований химикатов.
Рождение микросхемы
Сначала пластину кладут на огромную подушку и шлифуют — слои на ее поверхность должны лечь идеально ровно.
"Микросхема — как слоеный пирог. Сначала формируют его транзисторную часть. Идет осаждение всевозможных нитридов, окислов, поликремния, из